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2011-1

電子線ホログラフィーを用いた材料、デバイスの電場、磁場観察


概要

機能材料の電場や磁場を直接かつ定量的に観察、計測



保有技術・設備

ホログラフィー電子顕微鏡
電子線ホログラフィー法 : 磁性体の磁場観察、デバイスや電池材料の電位分布を観察

HF-3300EH
透過型電子顕微鏡
●加速電圧:300 kV
●空間分解能:0.24 nm
●輝度:2.9x109 A/cm2sr
●冷却ホルダー
●高温加熱ホルダー
●磁場印加装置
●ピエゾ駆動ホルダー
●雰囲気遮断ホルダー
JEM3300F
透過型電子顕微鏡
●加速電圧:300 kV
●空間分解能:0.17 nm
●輝度:7.0x108 A/cm2sr
●高温加熱ホルダー
●電圧印加ホルダー
●ピエゾ駆動ホルダー


活用/成果の例
ホログラフィーによるドーパント分布、磁性粒子の磁場、電池材料の電位マップ

TEM像
TEM像
LiCoO2正極/固体電解質界面付近のTEM像
電界効果トランジスタ内部のドーパント分布
(電位分布)
磁場像
バリウムフェライト粒子
充電中の電位マップ
電池動作中のリチウムイオンの
電位分布を可視化 世界初!!


適用分野

半導体デバイス
 ・シリコン半導体、化合物半導体(GaAsなど)のドーパント分布解析(電位分布)

磁性体関係
 ・磁区構造観察、動的ローレンツ顕微鏡観察、動的ホログラフィー観察
 ・低温、高温、磁場印加における定量観察

全固体型リチウムイオン電池
 ・充放電その場電場観察



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