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2013-3

環境顕微鏡 〜高分解能観察・高温その場観察に優れた仕様〜


技術のポイント

ガス中での微細構造解析を可能とする2種類の透過電子顕微鏡観察技術



背景
通常の電子顕微鏡観察では試料は高真空下に置かれるが、実際に物質が形成される環境や機能する環境下での観察が求められている。

目的
触媒反応、焼結過程などに代表される固相反応、固相-気相反応、固相-液相反応のその場観察を可能とする電子顕微鏡技術を開発する。

成果
10億分の1気圧の真空中で観察 ⇒ 最大1気圧のガス中で観察
差動排気方式の特長 隔膜方式の特長
空間分解能が高い
観察視野が広い
各種TEMホルダが使用可能
高圧ガス環境可能
顕微鏡内の清浄保持
様々なガス種を使用し易い

高分解能仕様 (差動排気型)
Titan ETEM (FEI)
加速電圧:300kV
点分解能:0.12nm 収差補正装置付
     (真空中<0.1nm)

導入ガス種:H2,N2,O2,Air
ガス導入圧力:最大2kPa(1/50気圧)
高温高圧観察仕様 (隔膜方式)
H-9500in-situ (日立ハイテクノロジーズ)
加速電圧:300kV
点分解能:0.18nm
導入ガス種:H2,N2,O2,Air
加熱温度とガス導入圧力:
  1000℃加熱 100kPa(1気圧)

図1. 2種類のガス環境顕微鏡の比較


今後の展開
観察実績の蓄積
液相中観察の開発
新材料開発の支援



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