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2013-6

高分解能走査型電子顕微鏡による表面微細構造観察


技術のポイント

超高分解能SEMにより表面の凹凸、組成、結晶情報などを得る



保有技術・設備

走査型電子顕微鏡
[特徴]
極低加速電圧での高分解能観察が可能 (照射電圧1kV時の分解能: 1.4nm)
3種類の二次電子検出器を使い分けることで、凹凸、組成、結晶方位に関する情報を可視化

検出器と得られる情報
検出器 信号情報
Top 組成+結晶
Upper 組成+凹凸
Upper 最表面
Lower 凹凸
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡SU8000(日立ハイテク製)

DVD-RWの構造
若干の凹凸によるコントラストが認められるが、その他のコントラストは一様で、記録層(AgInSbTe合金)は均一な組成であることが分かる。
組成像(Upper 検出器)  

記録層のグルーブとランドの構造がよくわかる。
凹凸像(Lower検出器)  
白いコントラストの部分はピット(非晶質)で、これにより記録する。それ以外の部分は多結晶である。(厚さ50nmの合金層の反射電子像を得ることは非常に困難)
結晶配向像(Upper 検出器)  

(例)DVD-RW記録層(厚さ50nmのAgInSbTe合金層)の観察(加速電圧800V)


適用分野
 
・異物・析出物等の観察・解析
・断面構造観察
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶配向の観察
析出物の観察 非導電性材料の無蒸着観察



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