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2013-7

走査型電子顕微鏡(SEM)による太陽光パネル観察事例


技術のポイント

SEM観察およびエネルギー分散型X線分析(EDS)を用いた構造解析



保有技術・設備
・高分解能電界放出形走査型電子顕微鏡 SU-8000
・エネルギー分散型X線分析装置  XFlash Detector 5030

活用/成果の例
太陽光パネルのSEMおよびEDS分析による構造解析例

図1. Si層表面SEM像(テクスチャ構造)
図2. 太陽光パネルの断面SEM像

図3. EDS分析結果

図4. EDS線分析結果
(断面SEM像の上部〜下部領域)


適用分野

●異物・析出物の観察・解析
●非導電性材料の表面微細構造観察
●結晶粒径分布解析
●積層構造材料の断面観察および組成分布解析  等



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