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2014-1

超高分解能走査型電子顕微鏡による低加速・無蒸着観察技術


技術のポイント

低加速電圧&無蒸着にて、電子線に弱い材料や非導電性材料の試料再表面の微細構造観察が可能



保有技術・設備
・超高分解能電解放出形走査型電子顕微鏡 SU-8000 日立ハイテク
・エネルギー分散型X線分析装置 X Flash Detector 5030 Bruker AXS社


活用/成果の例
電子線に弱い非導電性樹脂(塩化ビニル)の低加速&無蒸着SEM観察結果

加速電圧5.0 kV 加速電圧1.0 kV 加速電圧0.5 kV
チャージアップ等の影響により
試料表面の観察不可
試料表面の凹凸形状や傷、
ゴミ等の観察が可能
加速電圧1.0 kVでは確認できなかった
微細な表面形状(黄色破線)の観察が可能


適用分野

・異物・析出物の観察・解析
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶粒径分布解析
・積層構造材料の断面観察および組成分布解析  等



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