研究開発分野 JFCC Home Link Site Map English
受託研究 試験評価 機器利用 技術相談 標準物質 賛助会員
センター紹介 研究開発 材料技術研究所 ナノ構造研究所 広報活動 アクセスマップ


最先端機器・技術紹介 研究開発トップへ この分野の一覧へ 2014年度の一覧へ

2014-2

デュアルビームFIB-SEM装置を用いた三次元解析技術


技術のポイント

FIBによるスライス加工とSEMによる断面観察を連続的に行い取得した多数のSEM像をコンピュータで三次元再構成



FIB-SEMデュアルビーム
加工観察装置
大電流による“高速”かつ“精密”な「FIB加工」と高分解能「SEM観察」を同時に行うことが可能




適用分野

材料内部構造の三次元解析
 ・サブミクロンサイズの空隙、
  析出物、添加物などの分布
  サイズ等の可視化
TEM観察試料作製  
 ・積層膜、半導体デバイス
 ・大気非暴露加工、冷却加工
 ・特定部位の抽出
 (マイクロサンプリング法)
SEM断面観察
 ・FIBによる任意領域の断面加工
 ・5kV以下の加速電圧での観察
 ・EDS元素分析

謝辞: 事例1および2に示す結果は、高温超電導コイル基盤技術開発プロジェクトの一環として経済産業省の委託、事例3に示す結果は革新型蓄電池先端科学基礎研究事業(RISING)の一環としてNEDOの委託により実施したものである。



研究成果トップに戻る この分野の一覧に戻る 2014年度の一覧に戻る
Copyright (c) by Japan Fine Ceramics Center All rights reserved.