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2014-3

電子線ホログラフィーを用いた電子材料、磁性材料の定量観察


技術のポイント

機能材料の電場や磁場を直接かつ定量的に観察、計測



保有技術・設備

ホログラフィー電子顕微鏡
電子線ホログラフィー : 電子波の干渉現象を利用して、電場や磁場を定量的に観察する透過型電子顕微鏡法

HF3300EH
透過型電子顕微鏡
●加速電圧:300 kV
●空間分解能:0.24 nm
●輝度:2.9x109 A/cm2sr
●冷却ホルダー
●高温加熱ホルダー
●磁場印加装置
●ピエゾ駆動ホルダー
●雰囲気遮断ホルダー
JEM3000F
透過型電子顕微鏡
●加速電圧:300 kV
●空間分解能:0.17 nm
●輝度:7.0x108 A/cm2sr
●高温加熱ホルダー
●電圧印加ホルダー
●ピエゾ駆動ホルダー


活用/成果の例
半導体中のドーパント分布、電池内部の電位分布、磁性体の磁束分布の観察

TEM像
電界効果トランジスタ内部のドーパント分布
(電位分布)
パーマロイ磁性薄膜中の磁束分布
全固体リチウム電池内部の電位分布
(正極/固体電解質界面近傍)


適用分野

半導体デバイス
 ・シリコン半導体、化合物半導体(GaAsなど)のドーパント分布解析(電位分布)

磁性体関係
 ・磁区構造観察、動的ローレンツ顕微鏡観察、動的ホログラフィー観察
 ・低温、高温、磁場印加における定量観察

全固体型リチウムイオン電池
 ・充放電その場電場観察



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