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2015-28

セラミックスの加工負荷低減高精度加工


技術のポイント

熱負荷抑制および高精度貼付け可能な試料固定技



保有技術・設備
切断・研削・研磨加工まで精密加工装置を揃えています

精密スライサー
ESチャック付平面研削盤
鏡面加工機
SiCウェハ等の切断加工
V溝等ノッチ加工
その他の精密切断加工
セラミックスの平面加工
セラミックスの溝加工
ワックスレス固定
セラミックスの鏡面加工
SiCウェハ等の薄片加工
非水研磨加工
活用/成果の例

加圧脱脂炉
ESチャック固定法
特殊な低温凝固剤(凝固点約+17℃)を使用し、5℃前後で固定可能
熱的負荷の軽減効果。撥水性で湿式加工可能
膜厚が1μm程度となり、高精度加工に有効
常温の水で取り外しおよび洗浄可能なのでワーク固定時間短縮および環境負荷対策となる


適用分野

● ESチャック固定法はガラス等の非常に熱に弱い材料に対しての固定に有効
● 多孔質材などワックスが含浸および残留してしまう材料に関しても洗浄時間の短縮および高精度な加工が期待できる
● 自動車メーカーや電機メーカー、電力会社、大学その他の関連企業から加工依頼を受けている(年間100社以上)



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