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2015-23

ガラス精密研磨におけるCMP用スラリー寿命評価技術


技術のポイント

・研磨用スラリーあるいは研磨用パッドの劣化評価
・精密研磨用スラリーあるいは研磨用パッドの開発支援



保有技術・設備

研磨劣化評価装置
自動ドレッシングにより砥粒スラリーの劣化挙動を評価可能
連続研磨により研磨パッドの劣化挙動を評価可能

セリア系砥粒スラリーによるガラス
精密研磨における砥粒スラリー劣化挙動
セリア系スラリーでガラスを循環式にて研磨
パッドドレッシングを定期的に行い、スラリーの劣化挙動を評価
劣化プロファイルは2つの領域に大別:研磨レートがほとんど変化しない領域と研磨速度が大きく低下する領域

活用/成果の例
砥粒スラリー劣化メカニズムの解明 → スラリー長寿命化への展開
領域I→IIの遷移までに研磨されたガラス量と
スラリー分散媒体積の関係
ガラス精密研磨用セリア系スラリーの劣化メカニズム


適用分野

・精密研磨用砥粒スラリーの開発
・精密研磨用研磨パッドの開発
・精密研磨用スラリーやパッドの劣化挙動評価   など

謝辞 この成果の一部は新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「希少金属代替材料開発プロジェクト」の委託業務の結果得られたものです。



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