研究開発分野 JFCC Home Link Site Map English
受託研究 試験評価 機器利用 技術相談 標準物質 賛助会員
センター紹介 研究開発 材料技術研究所 ナノ構造研究所 広報活動 アクセスマップ


最先端機器・技術/微構造解析 研究開発トップへ 2016年度の一覧へ

T-24
2016

モノクロメータ収差補正STEMによる微細構造解析・分析


技術のポイント

収差補正STEMの空間分解能と高精度EELSによる観察・分析



保有技術・設備

モノクロメータ収差補正STEM
モノクロメータ:電子銃下部に装備したダブルウィーンフィルタ型モノクロメータにより電子線を単色化する
JEM-2400FCS
透過型電子顕微鏡
●加速電圧: 200 kV
●空間分解能: 0.07nm
●エネルギー分解能:30meV
●EELS分析装置
●EDS分析装置
●冷却ホルダー
●大気非暴露ホルダー

活用/成果の例
EELSによる原子カラム分析、半導体・絶縁体のバンドギャップ測定
BaTiO3のHAADF-STEM像とEELSスペクトル・マッピング像
各種半導体のバンドギャップ測定(ΔE=0.04eV
Fe添加Al2O3バイクリスタル粒界の
バンドギャップ測定(ΔE=0.1eV


適用分野

・半導体・絶縁体: 各種材料の界面・粒界近傍の微細構造解析とバンドギャップ測定
・各種材料   : 高分解能EELSによる元素・状態分析
・電池材料   : 大気非暴露による微細構造解析と元素・状態分析



研究開発トップに戻る
Copyright (c) by Japan Fine Ceramics Center All rights reserved.