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T-16
2017

4探針SPMによる局所物性評価


技術のポイント

固相界面・粒界などの局所領域の電流−電圧特性・電気抵抗などの物性を直接評価



保有技術・設備
4探針走査型プローブ顕微鏡
探針配置例
試料:Ni-GDCサーメット電極
特徴
・4プローブ独立/連動作動SPM
・プローブ位置確認用FE-SEMを具備
・600℃までの加熱と液体窒素による冷却が可能
・試料表面洗浄用スパッタ装置を備える
・局所光導入機構


活用/成果の例
GDCの粒界および粒界で評価した I-V特性
・粒内は線形、粒界は非線形
GDCの粒界で評価した I-V特性
・粒界ではI-V特性が非線形
・粒界によって非線形性が異なる



適用分野

○ 電気、電気化学デバイスの局所物性評価
 ・バリスター、固体酸化物形燃料電池、太陽電池材料等



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