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T-23
2017

機能性材料の構造・化学結合の分析評価技術


技術のポイント

化学結合状態・構造・光学的特性の多面的評価を通じて新規材料の開発に貢献



保有技術・設備

ラマン分光法
(Raman Spectroscopy)
X線光電子分光分析法:XPS
(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
フォトルミネッセンス
PL (Photoluminescence)
励起光 : 355, 488, 532, 785 nm
回折格子 : 2400, 1800, 600, 150 本/mm
検出器 : 電子冷却CCD
波数範囲 : 50 ~ 18,000 cm-1
偏光測定 : 励起, 検出側とも0°, 90°
波数分解能 : 0.4 cm-1 以下
空間分解能 : 1μm
機能 : マッピング, 3次元計測,
深さプロファイル
励起X線 : Mg, Al, Al-Kα
(max:15kV, 600W)
分解能 : 0.5eV
深さプロファイル測定 : Arイオン銃
絶縁物測定 : 中和銃
励起光 : 450W-Xeランプ
+ ダブルモノクロメータ
励起光 : 250-900nm
励起光波長分解能 : 0.3nm
検出器 : 可視域 250-840nm
赤外域   -1700nm
発光波長分解能 : 0.06nm (@ 500nm)

活用/成果の例

ラマン分光法:
分子・格子振動を測定
① 化学結合状態の決定
② 結晶多形の決定
③ ひずみの検出
④ 温度依存性の評価
⑤ ラマン信号と発光の対応
測定例 SiCの結晶多形・歪発生のマッピング
XPS:
光電子を測定
① 物質表面の組成
② 化学結合状態の評価
測定例 発光する籾殻の結合状態
Y. Ishikawa et. al, Jap. J. Appl. Phys.
51 (2012) 1AK02
PL:
発光強度を測定
① 紫外−赤外域の発光スペクトル
② 励起スペクトル
測定例
メソポーラスカーボンシリカのPLスペクトル
K. Sato et. al., Jpn. J. App. Phys., 51 (2012) 082402.


適用分野

・電子機能材料開発:透明導電膜、ワイドギャップ半導体(SiC、ダイヤ、GaN)、カーボン材料(電極、フィラー等)
・光学材料開発:発光材料



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