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T-30
2017

超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)低加速電圧観察・分析技術


技術のポイント

低加速電圧&無蒸着にて、観察や元素分析を行うことで高加速電圧では得られない情報の取得が可能



保有技術・設備
・超高分解能電解放出形走査型電子顕微鏡 HITACHI SU8000
・エネルギー分散型X線分析装置 BRUKER X Flash Detector 5030

検出器と得られる情報
通常観察モード
信号 信号名 検出器 信号情報
二次電子 SE1 Upper 最表面情報(電位コントラストを含む)
二次電子 SE2 Lower 凹凸情報
反射電子 HA-BSE Top 組成情報+結晶情報
反射電子 LA-BSE Upper 組成情報+凹凸情報(帯電抑制)
リターディングモード(試料に逆バイアスをかけ低加速を実現)
信号 信号名 検出器 信号情報
二次電子 SE1 Top 最表面情報
二次電子+反射電子 SE1+BSE Upper 組成情報+凹凸情報

各検出器の配置


活用/成果の例
低加速電圧による無蒸着での観察・分析事例

加速電圧の違いによる同視野SEM観察比較
(試料:Pt膜、異物:NaCl)
低加速電圧観察により、試料最表面の情報を取得することで
表面異物を明確に観察
加速電圧の違いによる同視野EDS比較
(試料:SiC焼結体、焼結助剤成分Bが分布)
低加速電圧分析により、元素マップ
分解能向上


適用分野

● 試料極表面の異物・析出物の観察・解析
● 非導電性材料の表面微細構造観察
● 結晶粒径分布解析
● 積層構造材料の断面観察および組成分布解析等



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