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T-32
2017

モノクロメータ収差補正STEMによる微細構造解析・分析


技術のポイント

収差補正STEMの空間分解能と高精度EELSによる観察・分析



保有技術・設備

モノクロメータ収差補正STEM
モノクロメータ: 電子銃下部に装備したダブルウィーンフィルタ型モノクロメータにより電子線を単色化する
JEM-2400FCS
透過型電子顕微鏡

● 加速電圧: 200 kV
● 空間分解能: 0.07nm
● エネルギー分解能:30meV
● EELS分析装置
● EDS分析装置
● 冷却ホルダー
● 大気非暴露ホルダー

活用/成果の例
EELSによる原子カラム分析、半導体・絶縁体のバンドギャップ測定

BaTiO3のHAADF-STEM像とEELSスペクトル・マッピング像

各種半導体のバンドギャップ測定(ΔE=0.04eV

Fe添加Al2O3バイクリスタル粒界の
バンドギャップ測定(ΔE=0.1eV


適用分野

・半導体・絶縁体 :各種材料の界面・粒界近傍の微細構造解析とバンドギャップ測定
・各種材料 :高分解能EELSによる元素・状態分析
・電池材料 :大気非暴露による微細構造解析と元素・状態分析



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