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T-34
2017

電子線ホログラフィーを用いた電子材料、磁性材料の定量観察


技術のポイント

機能材料の電場や磁場を直接かつ定量的に観察、計測



保有技術・設備

ホログラフィー電子顕微鏡
電子線ホログラフィー : 電子波の干渉現象を利用して、電場や磁場を定量的に観察する透過型電子顕微鏡法

HF3300EH
透過型電子顕微鏡
●加速電圧:300 kV
●空間分解能:0.24 nm
●輝度:2.9x109 A/cm2sr
●冷却ホルダー
●高温加熱ホルダー
●磁場印加装置
●ピエゾ駆動ホルダー
●雰囲気遮断ホルダー
JEM3000F
透過型電子顕微鏡
●加速電圧:300 kV
●空間分解能:0.17 nm
●輝度:7.0x108 A/cm2sr
●高温加熱ホルダー
●電圧印加ホルダー
●ピエゾ駆動ホルダー


活用/成果の例
半導体中のドーパント分布、電池内部の電位分布、磁性体の磁束分布の観察

電界効果トランジスタ内部の(a) TEM像と(b)電位分布


ナノメートルサイズの隕石粒子の(a)TEM像、(b)磁束分布像
全固体Liイオン電池、負極/固体電解質界面近傍の
(a)TEM像、(b)電位分布、(c)Li濃度分布(EELS分析結果)


適用分野

・半導体デバイス : シリコン系半導体(SiCなど)、化合物半導体(GaAs,GaNなど)の電位分布解析
・全固体電池 : 電圧印加技術による充放電中のその場観察
・磁性材料 : 磁区構造観察、動的ローレンツ顕微鏡観察、動的ホログラフィー観察



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