1研究成果 ／ 革新複合材料・機能材料
R-8
2020
窒化アルミニウムのレーザー焼結
課題
・窒化アルミニウム（AlN）は代表的な共有結合性化合物で、難焼結性である。
・熱伝導に優れるAlNは、電子デバイス等への広範な応用が期待されるが、低コスト化や複合化のためには、従来の窒素加圧焼結に代わる新しい製造プロセスが必要
解決手段
・短時間焼結が可能なレーザー焼結をAlNに適用
①液体窒素中でのAlNの焼結
②焼結助剤としても機能するAlN用レーザー吸収助剤の開発
成果・新規性
・液体窒素中に置いたAlN圧粉体に約1分間レーザーを照射することにより、AlNを焼結できることを見いだした。（助剤なし、窒素加圧なし）
・酸化物系焼結助剤を熱処理して得られた「レーザー吸収助剤」を添加すると、AlNのレーザー焼結が容易に進むことを見いだした。
期待される市場・応用
・AlN基板のインライン焼結プロセス
・低融点材料との複合化による新規高熱伝導材料
謝 辞：本研究の一部は、住友化学株式会社との共同研究で実施されたものである。