8試験評価技術 ／ 微構造解析
T-34
2020
FIB-SEMを用いた3次元構築
技術のポイント
FIBスライス加工とSEM断面観察を連続的に行い取得した多数のSEM像から3次元構造を再構成
手法概要と解析事例
SEM像のコントラストから3次元化
最大50 μm角領域に対応
他の手法と組み合わせてマルチスケール評価
SOFCモデル電極の3次元解析事例
LiMn2O4粒子の3次元解析事例
自動車排ガス触媒コート層の3次元解析事例
◆ 最新ソフトウェアAvizo 2020により、体積、表面積、界面の面積/長さ、空隙の数、平均径など多様な数値解析に対応
適用分野
電池材料、粉末、各種焼結体における構造、体積、表面積、空隙、空隙のつながり、粒子径などの3次元評価