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2011-3 | ![]() |
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・砥粒合成:噴霧熱分解法 ・研磨対象:LCD用(アルミノホウ珪酸)ガラス |
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図1. 噴霧熱分解法により作製した砥粒のSEM像 | 図2. Co添加量と研磨特性の関係 |
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特願2010-276213 「研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法」 | |||
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