R-22
2019

究極のパワー素子を目指した
窒化アルミニウム単結晶の転位評価

窒化アルミニウム（AlN）は、超高耐圧・高温動作のパワー素子用の半導体材料として期待されるが、結晶高品質化および素子故障解析に必要な転位評価技術が確立されていない。

・非破壊で基板全面の転位を評価可能なX線トポグラフィ観察法を開発
・簡易かつ短時間で転位を評価可能なエッチピット法を開発

・	現状最大級（φ35mm）のAlN単結晶基板全面の転位の種類と分布を高精度かつ非破壊で評価できるX線トポグラフィ観察法を確立
・	簡易かつ大面積に適用可能なエッチピット転位検出分類法を確立し、1日程度で基板全面の転位情報が把握可能
・	透過電子顕微鏡を用いた転位構造解析を行い、上記方法の精度を検証