後方散乱電子回折（EBSD）法：試料に照射された電子が試料内で拡散し、拡散した電子は回折され反射電子として試料から放出される。その際に生じる反射電子回折パターンを用いて局所領域の結晶方位や結晶構造を解析する。

EBSD-KAM歪み解析手法　　 ：EBSD方位解析にて各点の結晶方位を算出後、算出された方位の値を用いて、1つの測定点とそれを取り囲む周囲の測定点との方位差を平均化し、中央の測定点の値とする。

EBSD-wilkinson歪み解析手法：ある測定点の菊池パターンを基準にそれ以外の測定点との比較を行い、結晶粒内の歪みを解析する。