2020年度

マテリアル革新力を支える新材料開発と先端解析技術

2試験評価技術／プロセス・加工

T-5

2020

エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜の形成

技術のポイント

エアロゾルデポジション（AD）法を用いたセラミックス膜の常温形成技術

エアロゾルデポジション装置

AD法の特徴

原料粉末

アルミナ膜の微細組織

アルミナ膜の結晶配向性

適用分野

・耐プラズマ性膜、絶縁膜
・各種セラミックス膜の形成
・基板表面凹凸に依存しない平滑膜の形成