1試験評価技術 ／ 加工・プロセス
T-5
2021
エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜の形成
技術のポイント
エアロゾルデポジション（AD）法を用いたセラミックス膜の常温形成技術
エアロゾルデポジション装置
AD法の特徴
原料粉末
アルミナ膜の微細組織
アルミナ膜の結晶配向性
適用分野
・耐プラズマ性膜、絶縁膜
・各種セラミックス膜の形成
・基板表面凹凸に依存しない平滑膜の形成
2021年度
2021年度
T-5
2021
技術のポイント
エアロゾルデポジション（AD）法を用いたセラミックス膜の常温形成技術
エアロゾルデポジション装置
AD法の特徴
原料粉末
アルミナ膜の微細組織
アルミナ膜の結晶配向性
適用分野
・耐プラズマ性膜、絶縁膜
・各種セラミックス膜の形成
・基板表面凹凸に依存しない平滑膜の形成