2021年度

JFCC研究成果集

脱炭素イノベーションをめざした革新材料開発/解析技術

2試験評価技術 / 加工・プロセス

T-5

2021

SDGs

エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜の形成

SDGs

技術のポイント

エアロゾルデポジション(AD)法を用いたセラミックス膜の常温形成技術

エアロゾルデポジション装置

AD法の特徴

原料粉末

アルミナ膜の微細組織

アルミナ膜の結晶配向性

適用分野

・耐プラズマ性膜、絶縁膜

・各種セラミックス膜の形成

・基板表面凹凸に依存しない平滑膜の形成