2021年度

JFCC研究成果集

脱炭素イノベーションをめざした革新材料開発/解析技術

8試験評価技術 / 微構造

T-41

2021

SDGs

先進分析TEM JEM-F200のご紹介

SDGs

技術のポイント

極低倍から原子レベルまで同一のTEMで微構造観察・元素分析が可能な汎用TEM

装置概要

日本電子(JEOLJEM-F200

主な仕様

《TEM本体》収差補正器なし

・電子銃:Cold-FE電子銃

・TEM分解能:0.23 nm(構造像)@200 kV
・STEM分解能:0.16 nm@200 kV

・加速電圧: 200 kV、120 kV、80 kV、60 kV

《各種検出器》

・EDS検出器:日本電子 JED-2300 SDD
       100 mm2 ×2本 (1.7 sr
・EDSアナライザー:Thermo Scientific Pathfinder
・EELS:Gatan Enfina
・カメラ:Gatan Oneview CMOS

・STEM明視野/暗視野検出器、反射電子検出器

適用分野

・TEM/STEM観察全般、高感度EDS元素分析

・オープンラボ、機器利用にも対応

謝 辞:本装置の導入にあたりご尽力を頂きました(株)日本電子の関係各位に感謝申し上げます。