6研究成果 ／ 先進微構造解析
R-27
2023
HAADF STEM像のノイズ低減：原子位置計測における有効性
アピールポイント
ノイズ低減による原子位置計測精度の向上
【技術シーズ：機械学習（スパースコーディング）】
課題
・高角散乱環状暗視野（HAADF）走査透過電子顕微鏡（STEM）法は、2 pm程度の原子位置変位を計測できる手法
・HAADF STEM像に含まれるノイズが、原子位置計測精度を低下
解決手段
・様々な画像処理技術によりノイズ低減し、計測精度の向上効果を検証
成果・優位性
・HAADF STEM像の画像処理技術としてスパースコーディングが適しており、偽像や情報消失等なしでノイズを大幅に低減可能
・スパースコーディングにより計測精度が1.29 pmから1.00 pmに向上
・実験方法：HAADF STEM、ノイズ低減
期待される市場・応用
・半導体、触媒、電池材料
謝 辞：本研究は、JSPS科研費（JP21K18196）、一部は防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596の支援を受けて実施されたものである。