1加工・プロセス
T-1
2023
セラミックスの加工技術
技術のポイント
高精度加工装置および技術を保有
研究および材料評価に適した試験片加工が可能
穴あけ加工、形状加工
メーカー 型番：DMG森精機 SV-400
固定方法 ：電磁チャック
主軸回転数 ：12000 min-1
稼働範囲(x,y,z)：600 mm、430 mm、460 mm（主軸頭上下）
用途 ：穴加工、溝加工等
磁率試験片加工例
| 材質 | アルミナ |
| 形状（ｍｍ） | 外径≦φ20 内径≧φ5 高さ≦10 |
| 使用装置 | マシニングセンタ |
| 円筒加工装置 |
スリット加工
メーカー ：芝浦機械㈱
型式 ：USM-20A（H）
固定方法 ：真空チャック
砥石回転数 ：3000～30000 min-1
稼働範囲(x,y,z,c)：300 mm、160 mm、50 mm、±100°
最小設定単位 ：0.1 µm
用途 ：ウェハーの切断、精密ノッチ加工等
コーティングの剥離試験片加工例
| 材質（溶射／基材） | ムライト／Si／SiC-SiC |
| 形状（ｍｍ） | 溶射：3×4×0.26 Si層：0.1 基材：3×4×3～4 ノッチ幅d：～0.23 ノッチ深さL：2.02 |
| 使用装置 | NC平面研削盤 |
| 精密スライサー |
適用分野
・研究開発、各種試験評価
・企業・大学・その他からの受託加工実績 （2022年度140機関）