4電気特性
T-19
2023
複合構造におけるGHz帯 複素誘電率の抽出評価
技術のポイント
多層構造・セル構造の複素誘電率（ε’－iε’’）を導出する自由空間法Sパラメータ評価＋解析プロセスを新たに構築
保有設備
成果例
VO2膜の複素誘電率
「温度応答性」導出に成功
VO2膜の複素誘電率「温度変化」
（1）温度upで金属相となり自由電子密度up
（2）プラズマ周波数ωpが高周波側へシフト
（3）ε‘, ε‘’ 全体も高周波側へシフト
H2Oの複素誘電率「温度・圧力変化」
・気相・液相：圧力（密度）upでε‘, ε‘’ともにup
・気相：温度upで緩和時間up → ε‘’がdown
・液相：温度upで緩和時間down → ε‘’にピーク
謝 辞：本データ解析は、NEDO委託事業「電磁波によるプロセスセンサー装置の研究開発」の一環として実施されたものである。
適用分野
・多層の電波透過材／吸収材などの複素誘電率+温度依存性の評価
・セル内の気相／液相、層間剥離複合材等の複素誘電率を分離解析