電子線後方散乱回折（EBSD）法：試料に照射された電子が試料内で拡散し、拡散した電子​は回折され反射電子として試料から放出される。その際​に生じる反射電子回折パターン（EBSDパターン）を用​いて局所領域の結晶方位や結晶構造を解析する。

EBSD-KAM歪み解析手法　　　 ：EBSD解析にて各点の結晶方位を算出後、得られたオイ​ラー角の値を用いて、1つの測定点とそれを取り囲む周​囲の測定点との方位差を平均化し、中央の測定点の歪み​値（KAM値）とする。

EBSD-Wilkinson歪み解析手法　：ある測定点のEBSDパターンを基準にそれ以外の測定点​のEBSDパターンとの比較を行い、結晶粒内の歪みを解​析する。