6微構造解析

T-37

2023

EBSD-EDS同時検出による結晶方位および相分離解析技術

技術のポイント

従来のEBSD法では結晶相分離が困難な材料系に対して、EDS元素分析と組み合わせることで相分離解析が可能

保有装置

・電界放出型走査電子顕微鏡　JSM-7800F Prime（日本電子製）
・結晶方位解析装置　Digiview V EBSD System（TSLソリューションズ製）
・エネルギー分散型X線分光装置 JED-2300（日本電子製）

活用／成果例

(Y,Gd)Ba₂Cu₃O_y層で接合したGdBa₂Cu₃Oy超電導接合線材のEDS元素マッピングおよび結晶相分離、結晶方位解析

1. EBSDのみでの解析結果

GdBa₂Cu₃O_yおよび(Y,Gd)Ba₂Cu₃O_yは結晶構造（orthorhombic）が同一であり、格子定数も非常に近いためEBSDパターンのみでは区別が困難

EBSD解析では同一の結晶構造を有する組織の相分離は困難

2. EBSD-EDS同時検出による複合解析結果

EBSD-EDS複合解析を行うことで同一結晶構造組織の相分離に成功

謝　辞：超電導接合線材は土井俊哉教授（京都大学）、大木康太郎博士（住友電気工業（株））から提供いただいた。本研究は、JST未来社会創造事業（JPMJMI17A2）による支援のもとで実施されたものである。

適用分野

結晶化合物全般を対象に

・微小領域での結晶系解析

・結晶相分布解析

・結晶方位分布解析

・結晶粒径分布解析

・結晶歪分布解析