2024年度

JFCC研究成果集

グリーンイノベーションを推進する次世代マテリアル開発と解析技術

5試験評価技術 / 構造・機能評価

T-33

2024

SDGs

高温環境下における​残留応力評価技術​

SDGs

技術のポイント

残留応力を有する材料の昇温による応力緩和の様子や熱膨張差を持つ膜/基板の高温環境下での膜の応力を評価可能​

保有装置/技術

仕様

X線出力  :45 kV、40 mA​

制御温度  :R.T.~1200 ℃​

試料加熱  :間接加熱方式​

ヒーター  :W(タングステン)​

温度測定  :Pt 10%RhPt熱電対​

最大圧力  :大気圧+1 bar​

試料台   : Al2O3

試料サイズ :最大φ16×2 mm程度​

試料雰囲気 :真空(10-4 mbar)、大気、不活性ガス(N2、Ar)​

活用/成果例


Mo基板上にAD法にて成膜したAl2O3膜の高温残留応力測定結果

測定条件:Al2O3(1 0 -1 10)ピーク(2θ=76.84°)を使用​
測定温度:R.T.、400 ℃、800 ℃、1000 ℃

成膜時には圧縮残留応力が確認されたAD-Al2O3膜は1000 ℃まで昇温することで残留応力が緩和する様子を確認​​

適用分野

・遮熱・耐熱コーティング材料

・断熱膜