6試験評価技術 / 電子顕微鏡
T-38
2024
Ga-FIB-SEMを用いた3次元構築
技術のポイント
FIB-SEM像と最新材料科学向けソフトウェアAvizoとの連携による高精度3次元情報の提供
手法概要/解析事例
SEM像のコントラストから三次元化
最大50 μm角領域に対応
他の手法と組み合わせてマルチスケール評価
謝 辞:本研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)からの委託業務「水素利用等先導研究開発事業/水電解技術高度化のための基盤技術研究開発/高温水蒸気電解技術の研究開発」(2018年度~2022年度)で実施されたものである。
◆ 最新ソフトウェアAvizo 2023.2で様々なパラメータを抽出
体積、表面積、界面の面積/長さ、空隙の数、平均径、分布 etc
適用分野
・電池材料、粉末、各種焼結体における構造、体積、表面積、空隙、空隙のつながり、粒子径などの3次元評価