6研究成果／先進微構造解析

R-30

2025

プラズマFIBを用いた積層セラミックコンデンサの3次元構築

アピールポイント

MLCC全体のNi電極と空隙の分布を可視化
【技術シーズ：大領域高精細3次元構築】

背景・課題

・積層セラミックコンデンサ（MLCC）は微細化が進んでいるが、その内部構造は局所的（数10 μm角領域）な構造解析に留まっている。

・大領域かつ高精細な内部構造の解析技術を構築する。

解決手段

・大電流で大領域が加工可能なプラズマFIBを用いて、積層セラミックコンデンサ全体の3次元構築を実施

成果・優位性

①0603サイズ（0.6 mm×0.3 mm×0.3 mm）の積層セラミックコンデンサ電極部全体の3次元構築を100 nmの解像度で実証

②積層セラミックコンデンサ全体のNi電極と空隙の分布を可視化

期待される市場・応用

・電子デバイス、電池材料、焼結体、粉末材料

謝　辞：本研究は、NEDO委託業務「次世代ファインセラミックス製造プロセスの基盤構築・応用開発」（JPNP22005）の一環として実施されたものである。

担当者：吉田竜視、加藤丈晴、木村禎一