2研究成果／誘電体材料設計

R-7

2026

ペロブスカイト型窒化物LaW₃薄膜の結晶構造と誘電特性の評価

アピールポイント

エピタキシャル成長したLaWN₃の強誘電特性を初めて解析
【技術シーズ：新規窒化物／強誘電体材料】

背景・課題

・チタン酸バリウムを超える巨大誘電率材料が80年間以上発見されていない。

・ペロブスカイト型窒化物は合成例が限られ、誘電特性の評価例が少ないため酸化物に比べて物性が明らかになっていない。

解決手段

・クラスター成膜装置を用いたRFスパッタリング法による合成

・酸化物以外に探索範囲を拡大する準備段階として、導入した設備を用いてモデル材料として強誘電性の可能性を指摘されているLaWN₃を合成

成果・新規性

①X線回折（XRD）からペロブスカイト型構造に対応した（00ℓ）反射を検出

②透過型電子顕微鏡（TEM）からLaWN₃薄膜のエピタキシャル成長を確認

③圧電応答顕微鏡（PFM）により局所的な強誘電特性を確認

期待される市場・応用

・強誘電体、半導体、電子材料

発表文献

第73回応用物理学会春季講演会講演予稿集06-218

謝　辞：本研究は、防衛装備庁が実施する安全保障技術研究推進制度JPJ004596の支援を受けて実施されたものである。

担当者：増田達也、加藤丈晴、森分博紀

共同研究者：（防衛大学校）濱嵜容丞、江原祥隆、（東京科学大学）安井伸太郎、伊藤満