2026年度

サステナブルな未来を拓く革新材料開発と先端解析技術

1試験評価技術／加工・プロセス

T-6

2026

SDGs

エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜の形成

SDGs

技術のポイント

エアロゾルデポジション（AD）法を用いたセラミックス膜の常温形成技術

エアロゾルデポジション装置

AD法の特徴

原料粉末

アルミナ膜の微細組織

アルミナ膜の結晶配向性

適用分野

・耐プラズマ性膜、絶縁膜
・各種セラミックス膜の形成
・低環境負荷型セラミックス膜成膜技術