2011-3

熱線反射のためのZnO透明導電膜への効果的なAl添加

ZnO：Al透明導電膜の熱線（近赤外光）反射性を高めるために多元反応性スパッタリングによりAlを効果的に添加

透明性と導電性をもつZnO：Al膜は、近赤外線（熱線）を反射する遮熱膜としても期待され、さらなる反射性能の向上が求められている。

近赤外光に対するZnO：Al膜の反射性能を高める。
　　⇒　プラズマ波長の短波長側（可視光側）へのシフト＋吸収の低減

ZnO：Al透明導電膜における熱線反射を向上させた 　　　
　Zn, Alターゲット表面を遷移領域（酸化物⇔金属）で制御
　　⇒　効果的なAl添加に伴うキャリア放出効率アップにより近赤外反射

・膜構造設計との融合による遮熱性能向上
・耐久性（耐湿性）の評価

可視光透明性・遮熱性能に優れる
膜の応用展開

参考文献	：	Y. Okuhara, T. Kato, H. Matsubara, N. Isu and M. Takata: Thin Solid Films,519,2280(2011). 特願2009-050707 「断熱ガラスとその製造方法」
謝辞	：	この成果は、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO) 「マルチセラミックス膜新断熱材料の開発」の委託業務の結果得られたものである。