2011-3

Bサイト置換型鉄系ペロブスカイト酸化物のガラス研磨特性

鉄の価数変化が制御可能であるペロブスカイト酸化物に着目し、ガラス研磨特性を向上させる

セリア系砥粒によるガラス研磨時には、Ce³⁺/Ce⁴⁺の価数変化が関与すると考えられている。供給体制不安が指摘されているセリア系砥粒の代替として、Fe³⁺/Fe⁴⁺の価数変化が制御可能な鉄系ペロブスカイト酸化物（SrFeOx）に注目している。

SrFeOxのFeの一部をCoに置換することによって、Feの価数を制御した砥粒を作製し、研磨特性を評価する。

(1)	CoのBサイト置換は、ガラスの研磨特性に影響を与えること明確化。
(2)	既存砥粒と比べ、研磨速度は及ばないものの、優れた表面平滑性を示す。

・砥粒合成：噴霧熱分解法　　
・研磨対象：LCD用（アルミノホウ珪酸）ガラス


図1. 噴霧熱分解法により作製した砥粒のSEM像	図2. Co添加量と研磨特性の関係

研磨に作用するFeに最適な置換
元素の検討および劣化挙動の評価

セリウムフリー代替砥粒の実現

特願2010-276213　「研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法」

謝辞

：

この成果は、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「希少金属代替材料開発プロジェクト」の委託業務の結果得られたものである。