2012-3

ナノ分散型複合砥粒のガラス研磨特性

ガラス研磨における化学的作用と機械的作用のバランスを制御し、ガラス研磨特性を向上

セリアはガラスとの化学反応性に加え、適度な硬度を両立し、優れた化学機械研磨特性を有する。供給体制が不安定なセリアの代替砥粒を実現するため、化学研磨性と機械研磨性にそれぞれ特化した材料のナノ複合化に着目している。

化学反応性が高いSrZrO3 と機械特性が高いZrO2 をナノレベルで分散した複合砥粒を合成し、研磨特性を評価する。

(1)	ナノ複合化は化学機械研磨特性を向上させる有効な手段であることを明確化。
(2)	市販セリア系砥粒と比べ、80％程度の高い研磨速度と優れた表面平滑性を示す。

・砥粒合成：噴霧熱分解法　　
・研磨対象：LCD用（アルミノホウ珪酸）ガラス

図2. 研磨特性

図1. ナノ分散型複合砥粒

微細構造の最適化最適な材料の探索

セリアを超える代替砥粒の実現

参考文献	：	T. Honma, et al., J. Ceram. Soc. Jpn. (in press)　特願2011-225238　「研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法」
謝辞	：	この成果は、経済産業省(METI)、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「マルチセラミックス膜新断熱材の開発」の委託業務の結果得られたものである。