2012-4

ガラス精密研磨における砥粒スラリーの劣化メカニズム解明

ガラス研磨速度の経時変化を定量的に評価

ガラス精密研磨において、砥粒を含むスラリーは通常循環させて使用する。研磨時間の経過に伴う研磨速度の低下は経験的に知られているが、砥粒スラリーの劣化メカニズムは未だ解明されていない。

セリア系砥粒スラリーの劣化挙動に着目し、ガラス研磨速度の経時変化を定量的に評価し、劣化要因を明らかにする。

(1)	スラリーのみの経時変化を正確に評価する研磨装置を開発。（図1）
(2)	劣化プロファイルは、研磨速度の低下が緩やかな領域?と、急激に低下する領域?に大別される。（図2a）
(3)	研磨されたガラス成分が砥粒を覆うことによって、基板との化学反応を阻害し、研磨速度の急激な低下が起こることを示唆。（図2b）

・砥粒：市販セリア系
・研磨対象：LCD用（アルミノホウ珪酸）ガラス

図2. 市販セリア系砥粒の寿命評価結果

図1. 開発した砥粒劣化評価装置

砥粒と溶媒それぞれの劣化要因の特定と
劣化抑制技術の開発

スラリーの長寿命化
および使用量低減化

謝辞

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本研究は、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「希少金属代替材料開発プロジェクト」の委託業務の結果得られたものです。