2013-11

収差補正モノクロメータSTEMによる高エネルギー分解能EELS測定

モノクロメータ装備収差補正STEMにより、高空間分解能・高エネルギー分解能EELS測定が可能

各種材料の解析・状態分析にエネルギー損失分光分析(EELS)が不可欠となってきている。本装置は収差補正装置とモノクロメータを装備し、空間・エネルギー分解能を両立した測定を可能とした。

軽元素の分析、状態分析、ケミカルシフトなどの電子状態変化の高精度計測を可能とする。

(1)	ダブルウイーンフィルターにより最高分解能ΔE=36meV(加速電圧200kV)を達成。
(2)	加速電圧60kV、120kV、200kVを選択可能。エネルギー分解能は、スリットにより0.04～0.3eVまで5段階。

収差補正モノクロメータSTEMとして世界最高分解能を達成

・手法：TEM･STEM　EELS　　
・評価：ΔE=36meVを有するEELS測定

図1. 収差補正モノクロメータSTEMの外観

図2. モノクロメータON／OFFによるゼロロスピークの変化

高空間分解能・高エネルギー分解能を
両立した微細構造解析により、
極微小領域での状態分析、軽元素分析を行う

新規材料開発・材料解析に貢献