2013-8

材料開発の構造・化学結合設計を支援する分光分析技術

化学結合状態・構造・光学的特性の多面的評価を通じて新規材料の開発に貢献

Raman

分子･格子振動を測定

XPS

組成と化学結合状態を同時に測定
? 高分解能0.5eV :Al Kα　モノクロX線源
? nmオーダーの深さ分解能

装置更新：主な仕様
? 励起源:355,488.532,785nm
? マッピング・深さプロファイル・3次元計測

測定例　SiCの結晶多形・歪発生のマッピング

FTIR

分子･格子振動を測定するので化学結合状態を知ることができる。
JFCCの特長：輻射率の測定

分光光度計・エリプソメトリ

紫外－赤外域の光吸収や屈折率を知ることができる。
光学材料の特性評価に適する。

PL・PLE装置

紫外－赤外域の発光や励起スペクトルを測定することができる。発光特性評価に適する。

　
○ 電子機能材料開発
　・透明導電膜
　・ワイドギャップ半導体（SiC, ダイヤ）
　・カーボン材料（電極、フィラー等）

○ 光学材料開発
　・発光材料（紫外-可視-赤外）
　・光学膜（高反射、低反射）
　・窓材料
　・蛍光増白剤

○ その他
　・断熱材料