2013-11

LTCC用セラミックス基板等のマイクロ波誘電特性評価

無線通信用モジュールで使われるLTCC用セラミックス材料等の、マイクロ波帯おける誘電特性評価に貢献

TM0m0円筒空洞共振器法¹⁾

特徴

?	周波数：3GHz
?	丸棒試料の軸方向の誘電率を求める
?	試料挿入孔の影響を考慮した厳密な電磁界解析により、通常の動法よりも高精度
?	非破壊かつ試料の脱着が容易
?	共振周波数の異なる4つの高次共振モードから周波数依存性評価が可能

SPDR法²⁾

特徴

?	周波数：2.45GHz
?	基板面に平行な方向の誘電率を求める
?	円柱の上下表面で電界成分が連続であるため空隙による誤差が生じにくい
?	非破壊かつ試料の脱着が容易
?	テストピース形状が平板→加工が容易

サファイア単結晶(001)基板の測定例

　
○ ミリ波無線LAN／PAN用高周波回路基板
○ 携帯電話基地局用誘電体共振器材料
○ 平面フィルタ基板材料
○ 平面アンテナ基板材料
○ コンデンサ材料

GHz帯未満の誘電特性評価や
温度依存性の
評価・解析も行っています

1) H. Kawabata, H. Tanpo, Y. Kobayashi, IEICE Trans. E86-C, 2371-78(2003).
2) J. Krupka, Workshop on Applications of Radio Science 2002.