2014-12

収差補正モノクロメータSTEMによる高エネルギー分解能EELS測定

収差補正とモノクロメータを装備したSTEMにより、原子レベルの空間分解能と高エネルギー分解能EELS測定

収差補正装置による高分解能観察と、モノクロメータによる高エネルギー分解能を両立し、局所領域の元素分析・状態分析を可能とする。

軽元素（Li、H等）の高精度元素分析、および状態分析を原子レベルで可能とする。また、半導体のバンドギャップ等の測定も可能とする。

(1)	モノクロメータによる高エネルギー分解能EELS（ΔE=36meV）を達成
(2)	Fe添加Al2O3粒界でのバンドギャップ変化を測定。

軽元素分析および状態分析の原子レベルの解析

・手法：収差補正STEM、EELS、モノクロメータ
・評価：高エネルギー分解能EELSによる軽元素分析、バンドギャップ、状態分析

図1. 収差補正モノクロメータ
STEM：JEM-2400FCS

図2. ゼロロスのEELS

図3. Fe添加Al2O3粒界と
粒内のEELS

? Li電池材料の構造・劣化解析
? 半導体・絶縁材料のバンドギャップ測定
? 局所領域の状態分析（粒界・表面）

参考文献

：

M. Mukai, E. Okunishi, et.al, Microsc. Microanal, 19, 1126-1127(2013)..