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| 2014-1 |  |
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| 加速電圧5.0 kV | 加速電圧1.0 kV | 加速電圧0.5 kV |
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| チャージアップ等の影響により 試料表面の観察不可 |
試料表面の凹凸形状や傷、 ゴミ等の観察が可能 |
加速電圧1.0 kVでは確認できなかった 微細な表面形状(黄色破線)の観察が可能 |
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| ・異物・析出物の観察・解析 ・非導電性材料の表面微細構造観察 ・結晶粒径分布解析 ・積層構造材料の断面観察および組成分布解析 等 |
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