2015-7

収差補正モノクロメータSTEMによる局所･高エネルギー分解能EELS測定

収差補正とモノクロメータを装備したSTEMにより、原子レベルの空間分解能と高エネルギー分解能EELS測定が可能

収差補正装置による高分解能観察と、モノクロメータによる高エネルギー　分解能EELS測定の両立により、局所領域の元素分析・状態分析が可能。

軽元素（Li、H等）の高精度元素分析、および状態分析を原子レベルで可能とする。また、半導体のバンドギャップ等の測定も可能である。

(1)	モノクロメータによる高エネルギー分解能EELS（ΔE=36meV）を達成。
(2)	Fe添加Al₂O₃粒界でのバンドギャップ変化を測定。

軽元素分析および状態分析の原子レベルの解析

・手法：収差補正STEM、EELS、モノクロメータ　　
・評価：高エネルギー分解能EELSによる軽元素分析、バンドギャップ、状態分析

収差補正モノクロメータ
STEM：JEM-2400FCS

ゼロロスのEELS
　

Fe添加Al₂O₃粒界と
粒内のEELS

・ Li電池材料の構造・劣化解析
・半導体材料のバンドギャップ測定
・局所領域の状態分析（粒界・表面）

参考文献

：

M. Mukai, E. Okunishi, et.al, Microsc. Microanal, 19, 1126-1127(2013).