2015年度

JFCC研究成果集

次世代を支える新材料開発と先端解析技術

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2015-8

環境電子顕微鏡によるガス中ナノスケール解析

技術のポイント

ガス環境下でのその場観察により、実材料の使用環境を模擬したナノスケール解析が可能


保有技術・設備

環境制御型収差補正TEM
実環境型TEM
FEI社TITAN E-TEM
加速電圧 : 80kV, 200kV, 300kV
点分解能 : 0.1nm（真空中）
導入ガス種 : H2, N2, O2 etc.
ガス導入圧力 : ≦200Pa（差動排気方式
日立ハイテクノロジーズH-9500in-situ
加速電圧 : 100kV, 200kV, 300kV
点分解能 : 0.18nm（真空中）
導入ガス種 : H2, N2, O2 etc.
ガス導入圧力 : ≦1atm (隔膜方式)
　≦10 Pa（差動排気方式）
試料加熱温度 : ≦1,000℃


ガス雰囲気下動的その場観察の実例

0 sec（O2導入直後） 20 sec 40 sec 60 sec
多層カーボンナノチューブに担持した白金ナノ粒子の触媒酸化挙動
試料温度：~350℃，酸素分圧：~2Pa


適用分野

○酸化・還元･不活性ガス雰囲気における材料挙動のその場観察
　　・触媒材料における酸化･還元過程の形態観察
　　・耐熱材料の使用環境を模擬したガス雰囲気下における高温挙動の観察



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