T-32
2017

モノクロメータ収差補正STEMによる微細構造解析・分析

収差補正STEMの空間分解能と高精度EELSによる観察・分析

モノクロメータ収差補正STEM

モノクロメータ：

電子銃下部に装備したダブルウィーンフィルタ型モノクロメータにより電子線を単色化する

JEM-2400FCS

透過型電子顕微鏡

● 加速電圧: 200 kV
● 空間分解能: 0.07nm
● エネルギー分解能:30meV
● EELS分析装置
● EDS分析装置
● 冷却ホルダー
● 大気非暴露ホルダー

EELSによる原子カラム分析、半導体・絶縁体のバンドギャップ測定

BaTiO₃のHAADF-STEM像とEELSスペクトル･マッピング像

各種半導体のバンドギャップ測定（ΔE=0.04eV）

Fe添加Al₂O₃バイクリスタル粒界の
バンドギャップ測定（ΔE=0.1eV）

・半導体･絶縁体	：各種材料の界面・粒界近傍の微細構造解析とバンドギャップ測定
・各種材料	：高分解能EELSによる元素・状態分析
・電池材料	：大気非暴露による微細構造解析と元素・状態分析