2019年度

JFCC研究成果集

新時代の扉を開く革新的・材料開発／解析技術

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T-4
2019

エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜の形成

技術のポイント

エアロゾルデポジション（AD）法を用いたセラミックス膜の常温形成技術


エアロゾルデポジション装置

アルミナ膜の微細組織
AD法の特徴
→ 室温で緻密質膜形成
→ 耐熱性に劣る基板上に成膜可能
→ 原料粉末と同一組成・結晶相の膜形成


原料粉末


アルミナ膜の結晶配向性



適用分野

・耐プラズマ性膜、絶縁膜
・各種セラミックス膜の形成
・基板表面凹凸に依存しない平滑膜の形成



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