T-33
2019

EBSD法を用いた歪み解析技術

後方散乱電子回折(EBSD)法により、それぞれの結晶粒の方位やずれ角の解析、結晶相分布解析、歪分布解析が可能

・電界放出走査電子顕微鏡JSM-7800F PRIME （日本電子製）
・結晶方位解析装置Digiview V EBSD System （TSL製）
・CrossCourt 4 歪解析ソフトウェア

後方散乱電子回折(EBSD)法：	試料に照射された電子が試料内で拡散し、拡散した電子は回折され反射電子として試料から放出される。その際に生じる反射電子回折パターンを用いて局所領域の結晶方位や結晶構造を解析する手法
EBSD-Wilkinson歪み解析手法：	ある測定点の菊池パターンを基準にそれ以外の測定点との比較を行い、結晶粒内の歪みを解析する手法

通常のEBSD測定による
結晶方位および歪み解析結果

EBSD-Wilkinson法による
精密歪み解析結果

通常のEBSD法では検出困難な歪みの解析に成功

・微小領域での結晶系解析　　　・結晶相分布解析
・結晶方位分布解析　　　　　　・結晶粒径分布解析
・結晶歪分布解析