R-4
2016

NaOH蒸気エッチングによるSiCウエハの混合転位検出と分類

NaOH高温蒸気を用いた化学エッチングでSiC結晶のc+a混合転位を判別

貫通転位は、SiCパワーデバイス故障の要因となる。しかし、刃状、らせん、及び混合転位のそれぞれの悪影響はまだわかっていない。低コスト且つ短時間で各種転位を分類する技術が強く求められている

SiCにおける刃状、らせん、及び混合転位を簡易に分類する化学エッチング技術を開発し、分類の確かさを放射光X線トポグラフィーを用いて検証する

(1)	SiCのSi面に3種類の転位に対応したエッチピットを形成するNaOH高温蒸気エッチング法の開発に成功した
(2)	複数のｇベクトルを用いた放射光X線トポグラフィー（XRT）で混合転位とらせん転位を判別し、種別ごとの転位分布を得た
(3)	同一場所のエッチピット像とXRT像とを比較し、 NaOH高温蒸気エッチング法の転位分類の精度を検証した