R-6
2016

エアロゾルデポジション法により形成したアルミナ膜の集合組織評価

極点測定とその後の結晶方位分布解析により、アルミナ膜の集合組織を定量評価

エアロゾルデポジション（AD）法により形成したアルミナ膜は、表面エネルギーが小さく化学的安定性に優れる底面に優先配向する傾向にあるが、底面配向度と成膜条件の関係は明らかでない

AD法により形成したアルミナ膜について、X線回折による正極点測定とその後の結晶方位分布解析により、膜の底面配向度に及ぼす成膜因子を抽出する

(1)	AD法を用いて形成させたアルミナ膜の底面配向度を（0001）面の体積率で定量的に評価した結果、膜厚の増加に伴い底面配向度が低下した
(2)	AD成膜時の基板への粒子衝突速度を増加させることにより、（0001）面を主成分とする集合組織が形成された