T-33
2016

ガラス精密研磨におけるCMP用スラリー寿命評価技術

・研磨用スラリーあるいは研磨用パッドの劣化評価
・精密研磨用スラリーあるいは研磨用パッドの開発支援

研磨劣化評価装置

自動ドレッシングにより砥粒スラリーの劣化挙動を評価可能
連続研磨により研磨パッドの劣化挙動を評価可能

セリア系砥粒スラリーによるガラス
精密研磨における砥粒スラリー劣化挙動

・	セリア系スラリーでガラスを循環式にて研磨
・	パッドドレッシングを定期的に行い、スラリーの劣化挙動を評価
・	劣化プロファイルは2つの領域に大別：研磨レートがほとんど変化しない領域と研磨速度が大きく低下する領域

砥粒スラリー劣化メカニズムの解明　→　スラリー長寿命化への展開

領域I→IIの遷移までに研磨されたガラス量と
スラリー分散媒体積の関係

ガラス精密研磨用セリア系スラリーの劣化メカニズム

・精密研磨用砥粒スラリーの開発
・精密研磨用研磨パッドの開発
・精密研磨用スラリーやパッドの劣化挙動評価　　　など

謝辞

：

この成果の一部は新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「希少金属代替材料開発プロジェクト」の委託業務の結果得られたものです。